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Merck

760404

タンタル(V)エトキシド

packaged for use in deposition systems

別名:

PET

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About This Item

化学式:
Ta(OC2H5)5
CAS番号:
分子量:
406.25
Beilstein:
3678999
EC Number:
MDL番号:
UNSPSCコード:
12352103
PubChem Substance ID:
NACRES:
NA.23

形状

liquid

屈折率

n20/D 1.487 (lit.)

bp

155 °C/0.01 mmHg (lit.)

mp

21 °C (lit.)

密度

1.566 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES記法

CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC

InChI

1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5

InChI Key

HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

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アプリケーション

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

ピクトグラム

Flame

シグナルワード

Warning

危険有害性情報

危険有害性の分類

Flam. Liq. 3

保管分類コード

3 - Flammable liquids

WGK

WGK 1

引火点(°F)

84.2 °F - closed cup

引火点(℃)

29 °C - closed cup


適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

消防法

第4類:引火性液体
第二石油類
危険等級III
非水溶性液体

Jan Code

760404-VAR:
760404-BULK:
760404-25G:


最新バージョンのいずれかを選択してください:

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