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テトラキス(ジメチルアミド)ハフニウム(IV)

packaged for use in deposition systems

• 別名: TDMAH, テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム(IV)
• 化学式: [(CH₃)₂N]₄Hf
• CAS番号: 19782-68-4
• 分子量: 354.79
• MDL番号: MFCD01862473
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24884811
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.99% (trace metals analysis)
• フォーム: low-melting solid
• 反応適合性: core: hafnium
• mp: 26-29 °C (lit.)
• 密度: 1.098 g/mL at 25 °C
• SMILES記法: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI Key: ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

ハフニウムのアルキルアミドは、滑らかでアモルファスな酸化ハフニウム薄膜に便利で効果的な原子層堆積前駆体をもたらします。

アプリケーション

Precursors Packaged for Depositions Systems（沈着システム用前駆体パッケージ）

半導体デバイスの酸化ケイ素の代替品として使用される酸化ハフニウムナノラミネートの原子層堆積の前駆体として使用されます。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H228,H261,H314
• 注意書き: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• 危険有害性の分類: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• 補足的ハザード: EUH014
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): 109.4 °F - closed cup
• 引火点(℃): 43 °C - closed cup
• 個人用保護具 (PPE): Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges