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トリス(ジエチルアミド)(tert-ブチルイミド)-タンタル(V)

packaged for use in deposition systems

• 別名: トリス(ジエチルアミノ)(tert-ブチルイミノ)-タンタル(V)
• 化学式: (CH₃)₃CNTa(N(C₂H₅)₂)₃
• CAS番号: 169896-41-7
• 分子量: 468.46
• MDL番号: MFCD02684506
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24885014
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.99% (trace metals analysis)
• フォーム: liquid
• 反応適合性: core: tantalum
• 密度: 1.252 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: CCN(CC)[Ta](=NC(C)(C)C)(N(CC)CC)N(CC)CC
• InChI: 1S/C4H9N.3C4H10N.Ta/c1-4(2,3)5;3*1-3-5-4-2;/h1-3H3;3*3-4H2,1-2H3;/q;3*-1;+3
• InChI Key: YYKBKTFUORICGA-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

Atomic number of base material: 73 Tantalum

アプリケーション

Precursors Packaged for Depositions Systems

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H225,H260,H314
• 注意書き: P210 - P223 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): 114.8 °F - closed cup
• 引火点(℃): 46 °C - closed cup
• 個人用保護具 (PPE): Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter